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　　PFAS源自美国二战时期的曼哈顿计划★✿。一位化学家通过将黄绿色有毒气体氟气通过碳弧凯发k8国际首页登录★✿，创造出了几乎无法被破坏的碳-氟键（C-F键）★✿，从而产生了PFAS★✿。

　　根据欧洲化学品管理局最新发布的提案★✿，欧盟将在很大程度上禁止生产和使用PFAS凯发k8国际首页登录★✿，若该禁令成真★✿，将打击多项经济活动★✿，并迫使企业为其产品和生产流程寻找替代品★✿，同时该禁令还将扩大到向欧盟出口含有PFAS的产品★✿。

　　PFAS的用途广泛凯发k8国际首页登录★✿，半导体凯发k8国际首页登录★✿、面板显示★✿、太阳能电池板★✿、电子设备上都见得到其身影★✿，且对芯片制造而言至关重要★✿。消息传出后凯发国际官网首页★✿。★✿，欧洲各大芯片供应商示警★✿，若实施禁令★✿，将对该产业造成极大干扰★✿。Chemours是高端含氟聚合物的领先供应商★✿，它警告说★✿，这些化学品对于半导体制造以及广泛的其他行业“绝对至关重要”★✿。

　　“PFAS限制提案的广泛范围★✿，威胁到半导体行业获得对生产至关重要的化学品★✿。”欧洲半导体行业协会可持续发展和环境官员穆勒（Mathias Müller）说★✿，“鉴于缺乏替代品★✿，如果没有豁免★✿，欧洲半导体行业将无法继续在欧洲制造★✿。”

　　PFAS的难以降解性是引发争议的根源★✿。由于PFAS具有极难被破坏的碳-氟单键（C-F键）芯片设计★✿，★✿，它们难以光解★✿、水解★✿、被生物降解或被动物体代谢★✿。当人体吸收PFAS后★✿，它们首先与血清蛋白结合★✿，然后在肝脏★✿、肾脏和睾丸等器官中沉积并无法排出★✿。这可能增加患甲状腺疾病★✿、高胆固醇★✿、高血压★✿、糖尿病和慢性肝病我保证不c进去txt御宅屋★✿，以及某些类型的癌症风险★✿，如肾癌和睾丸癌★✿。

　　近期★✿，3M宣布同意支付一项和解金★✿，金额在103亿美元至125亿美元之间我保证不c进去txt御宅屋★✿，旨在解决数百起与“永久化学物质”（PFAS）有关的水污染索赔问题★✿。

　　PFAS已对人类健康我保证不c进去txt御宅屋我保证不c进去txt御宅屋★✿、生态环境带来不可估量的威胁★✿，世界各个国家和地区都逐步加入到限制★✿、淘汰PFAS的阵营中★✿。国际社会对PFAS的管控日趋严格★✿，诸多《斯德哥尔摩公约》缔约国加入管控行列★✿。

　　目前★✿，全球许多国家及地区都已经对PFAS进行限制k8凯发(中国)官方网站天生赢家·一触即发★✿，★✿，一些知名企业也积极行动★✿，对使用的材料★✿、部件进行严格管控我保证不c进去txt御宅屋★✿。美国已采取多项措施在州和联邦层面对半导体行业的PFAS进行监管★✿。欧盟(EU)也积极监管半导体行业的PFAS★✿。2019年★✿，欧盟根据化学品注册★✿、评估★✿、授权和限制(REACH)法规将PFAS添加到其受限物质清单中★✿，限制其在消费品和电子产品（包括半导体）中的使用★✿。

　　2023年7月3日至7日于泰国曼谷举行的第45届《蒙特利尔议定书》开放式工作组 (OEWG45) 上★✿，专家小组提出了PFAS（全氟烷基物质和多氟烷基物质）问题凯发k8国际首页登录★✿，包括含氟气体★✿。经济发展与合作组织 (OECD) 更新定义后★✿，《蒙特利尔议定书》和《基加利修正案》控制的多种物质被视为PFAS★✿，包括HFC和HFO★✿。

　　欧洲五国此前发布的报告则预测电子行业PFAS的使用量一年会增加10%★✿，其中主芯片需求大增所致★✿。如此大的增量★✿，面对即将出台的新禁令★✿，众多芯片厂家可以说是挨了当头一棒★✿。

　　目前全球电子特种气体市场中K8凯发VIP入口★✿。★✿，含氟特种气体约占总量的30%左右★✿，是电子特种气体的重要组成部分★✿，在半导体领域主要用于制作清洗剂★✿、蚀刻剂,也可用于制作掺杂剂★✿、成膜材料等★✿。

　　存储器件领域 ★✿，3D NAND★✿、3D DRAM制造工艺中★✿，增加集成度的主要方法不再是缩小单层上线宽而是增加堆叠的层数★✿，层数的增加要求刻蚀技术实现更高的深宽比★✿，特种气体作为刻蚀剂需求增加★✿。

　　逻辑器件刻蚀步骤数随制程演进而增长★✿。在28nm制程工艺中★✿，刻蚀步骤仅40步★✿，但到10nm制程工艺时凯发国际k8官网★✿。★✿，刻蚀设备工艺步骤已提升一倍多至115步★✿，5nm需要160步★✿。随着芯片制造工艺不断改进★✿，刻蚀工艺步骤数将不断提升★✿。